ÖZ
Bu çalışmada, fiziksel bir çökeltme tekniği olan atımlı elektronla çökeltme (PED) tekniği kullanılarak silisyum altlık üzerinde süperiletken YBa2Cu3O7-δ (YBCO) ince filmi üretilmiştir. Si altlık ile YBCO süperiletken tabaka arasına tampon tabakası olarak SrTiO3 (STO) çökeltilmiştir. X-ışını difraktometresi (XRD) ile filmin kristal yapısı ve yönelimi incelenmiştir. Filmin makroskobik yüzey yapısı Optik Mikroskop ile, filmin mikroyapısı, taneciklerin büyüklüğü ve damlacıklar Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ile incelenmiştir. Filmin yüzey morfolojisi ve yüzey pürüzlülüğü ise Atomik Kuvvet Mikroskobuyla (AFM) incelenmiştir.
Elde edilen sonuçlar, PED tekniğinin YBCO süperiletken ince filmin üretilmesinde yeterli olduğunu göstermiştir. Ayrıca STO tabakasının kaliteli YBCO filmlerin üretimi için tek başına tampon tabakası olarak kullanılabileceğini göstermiştir.
0 yorum:
Yorum Gönder