ÖZ
Bu raporda, rezonans frekansı ölçümü temelinde çalışan ve algılama elemanı olarak bir MEMS yük hücresine sahip olan bir Lorentz kuvveti manyetometresinin geliştirilmesi sunulmaktadır.
Geliştirilen manyetometre, hem tarak yapılı hem de düz plakalı elektrotları olan bir "ÇiftBağlı-Diyapazon" (ÇBD) ile, merkezlerinden ve iki ucundan bu diyapazona bağlı bir ızgara yapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı hem elektrik direncini azaltarak daha az ısınmaya sağlamakta hem de ÇBD üzerinde Lorentz kuvvetini oluşturmaktadır.
35 μm yapısal kalınlığa sahip algılayıcı yongalar "Yalıtkan-Üzeri-Silisyum" (YÜS) diskler kullanılarak üretilmiştir. Çok turlu bobin yapısının üretilebilmesi içn ek yalıtım ve metal kaplama adımları eklenmiştir.
Çalışmada üç farklı okuma elektroniği yaklaşımı karşılaştırmalı olarak çalışılmıştır. Bu yaklaşımlar "Kendinden Rezonans Döngüsü", "Faz-Kilitli-Döngü" ve "Sabit Frekanslı Tahrik Altında Genlik Ölçümü" olarak listelenmiştir.
Geliştirilen 6 farklı manyetometre yapısı detaylıca test edilmiştir. Çalışmada en yüksek hassasiyete "Tümleşik kirişli ve tarak elektrotlu" ÇBD yapısına sahip manyetometreler "FazKilitli-Döngü" ile rezonansta tutulurken ulaşılmıştır.
Çalışmada üretilen manyetometrelerin testi için kontrollü manyetik alan ve vakum seviyesi imkanı veren yetkin bir test yatağı da geliştirilmiştir.
0 yorum:
Yorum Gönder